KOGANEI小金井FPD用电动CT泵

KOGANEI小金井FPD用电动CT泵

小金井FPD用电动CT泵详细分析报告

一、产品概述

小金井FPD用电动CT泵是日本KOGANEI（小金井）公司专为平板显示器（FPD）制造设计的精密泵，主要用于液晶（LCD）、等离子显示板（PDP）、有机EL等基板用狭缝涂布机中，实现光刻胶、纯水及药液的高精度均匀涂抹。其核心优势在于：

高精度定量吐出：通过步进电机驱动，实现流量精准控制，吐出量重复精度达±1% F.S.。

低发尘与除泡性：接液部采用氟树脂（PTFE）材料，无滑动结构，减少粒子产生，适合无尘环境。

结构简单可靠：无需日常维护，适用于半导体晶片微细化工艺。

二、技术参数

参数规格

类型电动CT泵（F-EPT系列），如F-EPT30型、F-EPT60型等

最大吐出量30ml、60ml、100ml、200ml、300ml（可根据基板尺寸选择）

最大吐出压力0.05MPa至0.15MPa（具体取决于型号）

吐出量精度±1% F.S.（满量程）

使用流体光刻胶、纯水、药液（不可燃性物质）

驱动方式步进电机驱动，配套控制器单元实现流量控制

接液部材料氟树脂（PTFE），耐腐蚀且低发尘

三、应用场景

FPD制造核心工艺

狭缝涂布机：用于基板表面光刻胶的均匀涂抹，确保涂膜厚度一致性。

微细化半导体晶片：适配下一代半导体工艺，满足高精度流体控制需求。

环境要求

洁净室环境：需在无尘车间使用，避免尘埃污染影响涂布质量。

流体限制：严禁使用可燃性物质，防止安全隐患。

KOGANEI小金井FPD用电动CT泵