| 测量范围 | |
|---|---|
| 空气/满刻度自由选择 | 阀体尺寸¼”从0…25 mln / min到0…60 ln / min（从0…27 SCCM到0…64 SLPM） 阀体尺寸½”从0…60 ln / min到0…450 ln / min（从0…65 SLPM到0…480 SLPM） |
| 仪器版本 | |
| “标准” 的经济解决方案 | 精度：满量程的±1.0％*量程 比：1：50 |
| “高性能”， 具有高的精度和量程比 （适用于GSM <200 ln / min（200 SLPM）/ GSC <150 ln / min（150 SLPM）（空气）） | 精度：满量程的±0.3％+读数的±0.5％*量程 比：1：100 *模拟信号可能会产生±0.25％的附加误差 |
| 性能数据 | |
| 介质（真实气体校准） | 空气*，O2 *，N2，He，Ar，CO2，H2，CH4，C3H8（根据要求提供其他气体和气体混合物） * O2和N2用空气校准 |
| 响应时间 | 仪表（GSM）：±80ms *; 控制器（GSC）：±500毫秒* *取决于设备配置并根据SEMI标准E17-1011， 在优化条件下量程的5-100％ |
| 重复性 | 满量程的±0.2％（根据SEMI标准E56-0309） |
| 长期稳定性 | <每年测量值的1％ |
| 电源 | 24 Vdc（18 – 30 Vdc），根据要求提供15 Vdc |
| 消耗电流标准 | 仪表（GSM）：大 100毫安; 控制器（GSC）：大 250 mA （带有8型阀的GSC，大490mA） |
| 电流消耗Profinet RT / EtherCAT | 仪表（GSM）：大 125毫安; 控制器（GSC）：大 340 mA （带有8型阀的GSC，大560mA） |
| 操作压力 | 0.2 – 11 bar a（3 – 160 psia）/ GSC，阀门类型为4.5和大8。8巴（120磅/平方英寸） |
| 温度（环境/气体） | 0 – 50°C（32 – 122°F） |
| 车身材料 | 阳极氧化铝，电镀不锈钢（可选） |
| 封条 | FKM，EPDM，可选FFKM |
| 压力灵敏度 | <0.2％/读数栏（典型值N2） |
| 温度敏感度 | 每1°C 0.025％FS测量范围类型（每1°F <0.012％） |
| 热身时间 | <1秒 *准确 |
| 整合与安装 | |
| 输出信号模拟 | 0-20 mA，4-20 mA，0-5 V，1-5 V，0-10 V，2-10 V |
| 数字输出信号 | RS-485; Modbus RTU（从站）; 可选LabView-VI ：Profibus DP-V0，DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| 过程连接 | G¼”（BSPP *母头），高60 ln / min（64 SLPM） G½”（BSPP *母头），高450 ln / min（480 SLPM） *英国标准管道平行 |
| 入口部分 | 不需要 |
| 电气连接 | Sub D插头，9极 |
| 安装方向 | 任何位置（高于5 bar的咨询制造商或垂直安装） |
