INFICON气体分析仪MPH100F九个数量级的动态分数

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测Transpector MPH兼有具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，

在帮助您赢利方面的作用所在城市表面的任何其他残余气体分析仪（RGA）。

INFICON利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的RGA所有这些特性都不会牺牲INFICON Transpector气体分析仪一贯出色的可靠性。

• 大模拟扫描和预期的数据速率为每点1.8 ms
• TCP / IP以太网连接
• 双丝极
• 可现场更换电子倍增器
• 组合阳极，卤素和反射极丝极套件
• *传感器可降低安装体积
• 九个数量级的动态分数
• <2E-15 Torr的MDPP（100 amu）
• 信噪比更高
• 可调换传感器和电子元件
• 传感器在洁净室环境中装配，测试并进行双层包装